国产高纯石英成功认证进入DRAM大厂晶圆生产
江苏太平洋石英股份有限公司的炉管系列产品近日获得国内一流DRAM制造商的认证，正式用于300毫米晶圆的生产。这是国产高纯石英首次融入晶圆制造的核心工艺。这家公司在过去已经向诸如泛林集团和东京电子等国际半导体设备巨头提供了多种产品，包括LPCVD扩散管和石英锭，其纯度达到4N5到5N级。通过此次认证，标志着从石英砂提纯、炉管加工到晶圆厂供应的完整链条已基本实现国产化。太平洋石英自2009年起与南京大学团队合作，经过六年的努力，成功将超纯石英砂的纯度提升至99.999%，开启了国内此领域的新篇章。
不过，报道指出，太平洋石英的产品主要应用于硅片制造完成后的晶圆制造，而用于硅片制造的石英坩埚要求更高纯度，需达到5N以上，并对杂质的限制要求极为严格。目前，这种高规格石英的供应市场仍然被北卡罗来纳州Spruce Pine的小镇Sibelco与The Quartz Corp.所垄断，两者共占全球90%以上的市场份额。业内分析人士表示，太平洋石英尚未具备生产用于制造9N至11N纯度硅片的坩埚的能力，中国在关键的坩埚生产环节仍需时间来实现突破。
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